2018-2022 年半导体温控设备市场规模

温控系统是半导体器件制造设备稳定运行的重要保障。半导体专用温控设备利用制冷循环和工艺冷却水的热交换原理通过对半导体工艺设备使用的循环液的温度、流量和压力进行高精密控制，保障半导体器件制造设备腔室所需的工艺加工温度，满足温度变化范围大、负载瞬间变化、设定温度随时改变等工况要求，是集成电路制造过程中不可或缺的关键设备。

半导体温控设备国产替代机遇显现。2018年以前，国内半导体专用温控设备市场主要由ATS、SMC等海外厂商占据；2018-2022年，京仪装备逐渐打破国外垄断地位，将市场份额由13%提升至36%；2022年，CR6合计市占率维持在90%左右，除京仪装备外，其他5家仍为国外厂商。我们认为在国内半导体行业追求上游设备自主可控的趋势下，下游厂商对国产温控设备接受度有望进一步提高，国产替代空间较大。