掩膜版是OLED蒸镀环节的关键工具,分为CMM和FMM两类。在OLED蒸镀环节中,需要在真空中将蒸发源蒸发,通过掩膜版将材料沉积在基板上,形成需要的层叠结构。掩膜版的精度和品质直接影响材料沉积的位置精度和形状尺寸。
OLED用掩膜版分为CMM和FMM。CMM(Common Metal Mask)即通用金属掩膜版,主要用于蒸镀通用层;FMM(Fine Metal Mask)即精细金属掩膜版,主要用于蒸镀发光层。