2021 年全球静电卡盘市场格局（销售额口径）

设备

LamResearch 美国 薄膜沉积、刻蚀、去胶和清洗、质量计量等半导体设备 172.27

TOTO 日本 静电卡盘、光学系统陶瓷零部件等 52.73

NTK 日本 火花塞、新型陶瓷产品 42.3

Shinko 日本 静电卡盘、触摸屏、电子元器件 21.53

资料来源：各公司官网及年报，光大证券研究所注：日本厂商营业收入按2022年12月31日汇率换算为美元

据QYResearch数据，AppliedMaterials、LamResearch与Shinko分别占据了2021年全球静电卡盘市场销售额前三位，各自占比分别为43.86%/31.42%/10.20%，合计占比85.48%。此外，2021年国内静电卡盘市场也主要由上述的美、日厂商垄断，其中前三大厂商销售份额占比超过93.52%，高于全球CR3，垄断程度更高。目前而言我国静电卡盘的自主水平及国产化率仍处于较低水平，国内相关制造企业需尽快寻求突破。但与此同时也反映了我国静电卡盘具有广阔的国产化替代空间，未来随着半导体零部件国产化替代的持续推进，国内制造商有望持续受益。

14.52%

10.20%

43.86%

31.42%

AppliedMaterialsLamResearchShinko其他

资料来源：QYResearch，光大证券研究所

2.3、国内厂商处于起步阶段，国产替代需求迫切

静电卡盘存在被“卡脖子”风险，国产化替代需求迫切。23年5月23日，日本

经济产业省正式公布了《外汇法》法令修正案，将先进芯片制造所需的23个品

类的半导体设备列入出口管理的管制对象，其中包括具有20个以上温控区静电卡盘的各向异性刻蚀设备。目前国内静电卡盘的供应链由国际巨头长期把控，随着海外对我国半导体设备及零部件的出口管控逐步升级，未来我国相关半导体设备制造企业面临无“盘”可用的窘境。因此，我国开展静电卡盘的研发以及国产化替代迫在眉睫。

国内企业开展静电卡盘研发，华卓精科已实现小规模量产。针对潜在的静电卡盘断供风险，目前已有多家国内制造商展开了静电卡盘的相关布局，并已取得了许多实质性的进展。目前已有包括华卓精科、海拓创新、中瓷电子、富创精密、珂玛科技等国家国内企业开始了静电卡盘相关的研发生产工作。其中华卓精科已开发出12寸PVD氮化铝静电卡盘，在一定程度上破除了海外厂商在静电卡盘领域的长期垄断局面，目前该产品已实现小规模量产。