2021 年全球清洗设备竞争格局

2021年全球半导体清洗设备CR4达93%，日本公司市占率高。日本DNS、TEL占据龙一龙二，市占率分别为40%、25%；韩国细美事和美国泛林分别占据16%、12%。国产清洗设备公司主要有盛美上海、北方华创、至纯科技和芯源微。盛美凭借独创兆声波清洗技术市占率最高，2021年全球市占率4%。

公司单片清洗成为国内主流厂商优选机台，槽式清洗在多家客户端实现量产。2018年公司收购美国Akrion，实现单片清洗、槽式清洗的覆盖。单片清洗机覆盖Al/Cu制程全部工艺，是国内主流厂商后道制程的优选机台；槽式清洗机已覆盖RCA、Gate、PR strip、磷酸、Recycle等工艺制程，并在多家客户端实现量产，屡获重复订单。截至2022年末，公司清洗设备累计出货1000台。