
图表4:先进封装处于晶圆制造与封测制程中的交叉区域
图表5:2021年先进封装按晶圆拆分市场份额(300MMEQWSPY)
资料来源:艾森半导体招股说明书,中邮证券研究所资料来源:Yole,中邮证券研究所
2CoWoS:台积电的2.5D先进封装技术
CoWoS(ChipOnWaferOnSubstrate)是台积电的一种2.5D先进封装技术,由CoW和oS组合而来:先将芯片通过ChiponWafer(CoW)的封装制程连接至硅晶圆,再把CoW芯片与基板(Substrate)连接,整合成CoWoS。核心是将不同的芯片堆叠在同一片硅中介层实现多颗芯片互联。在硅中介层中,台积电使用微凸块(μBmps)、硅通孔(TSV)等技术,代替了传统引线键合用于裸片间连接,大大提高了互联密度以及数据传输带宽。CoWoS技术能够提高系统性能、降低功耗、缩小封装尺寸,也为台积电在后续的封装技术保持领先奠定了基础。
资料来源:Wikichip,中邮证券研究所
根据采用的不同的中介层(interposer),台积电把CoWoS封装技术分为三种类型——CoWoS-S(SiliconInterposer)、CoWoS-R(RDLInterposer)以及CoWoS-L(LocalSiliconInterconnectandRDLInterposer)。