工业气体产业链上下游

电子气体广义上指电子工业中使用的气体，狭义上则特指半导体行业所使用的特种气体，是用于生产半导体、显示面板、太阳能电池等各种电子产品时使用的特殊高纯气体，成为了集成电路制造的第二大制造材料，仅次于硅片，占晶圆制造成本的13%。根据《战略性新兴产业分类（2018）》，电子气体被分为电子特种气体以及电子大宗气体。其中，电子特种气体广发应用于刻蚀、掺杂、外延、光刻等工艺。行业的上游是原材料与设备，其中原材料有空气，工业废气，基础化学；设备有气体分离及纯化设备，压力容器设备等。在行业的下游，大宗气体与特种气体共同应用于冶金、集成电路、液晶面板等传统行业与新兴行业。在这些部分中，电子气体的纯度和洁净度直接影响到光电子，微电子器件的质量，程度，特定技术指标和成品率，从根本上制约着电路和器件的精确性和准确性。因此，电子气体在现代工业中极为重要，是下游行业不可或缺的基础性支撑源材料。

电子气体应用领域广泛，包括电子集成电路，显示面板，半导体照明，光伏等，并在不同的领域发挥着不同的作用。在集成电路制造中，电子气体根据不同工艺，可分为掺杂用气体、离子注入气、清洗用气、刻蚀用气体和光刻气。其中砷烷主要用于集成电路中的离子注入以及半导体照明中的外延等领域。六氟化钨等气体则用于集成电路中的成膜等用途。在显示面板生产中，电子气体的主要用途有清洗、刻蚀和薄膜沉积。其中，在薄膜沉积工序中，CVD在玻璃基板上沉积二氧化硅薄膜所使用的特种气体主要为三氟化氮、硅烷以及氨气等气体。在光伏领域，电子气体的用途可以被分为沉积、扩散、刻蚀等。三氯氧磷和氧气用于扩散工艺；硅烷、氨气、二乙基锌、乙硼烷用于薄膜沉积；四氟化碳用于刻蚀。