2020 年全球半导体检测和量测设备市场竞争格局
数据描述
2.0%
7.8%
5.2%
5.6%
5.6%
50.8%
8.9%
11.5%
科磊半导体（KLA，美国）应用材料（AMAT，美国）日立（Hitachi，日本）
雷泰光电（Lasertec，日本）
创新科技（OntoInnovation美国）
ASML（荷兰）
新星测量仪器（Nova，以色列）康特科技（Camtek，以色列）其他
资料来源：VLSIResearch，QYResearch，安信证券研究中心
国际厂商：KLA一家独大，二三线厂商布局细分赛道，小而美。从产品布局上看，KLA布局全面，几乎覆盖半导体量检测设备全部品类。应用材料在电子束检测技术方面重点发力，布局电子束缺陷检测、电子束缺陷复检、CD-SEM设备，2021年在全球电子束量检测设备领
域市占率达到51%，占据半壁江山。日立布局有暗场缺陷检测、电子束缺陷复检以及CD-SEM设备；ASML围绕光刻重点布局电子束量检测、套刻误差设备；日本Lasertec作为全球首家推出EUV掩模版缺陷检测设备的厂商，在EUV掩模版缺陷检测领域具备绝对优势；Camtek在宏观缺陷检测领域有所布局；OntoInnovation产品涉及宏观缺陷检测、OCD、套刻误差及膜厚测量领域；以色列厂商新星测量则主要布局OCD及膜厚测量设备。
市场占比 KLA AMAT 日立 ASML 康特科技 (Camtek) OntoInnovation 雷泰光电 Lasertec 新星测量Nova
SAM： 91.9% 61.0% 47.5% 18.0% 6.3% 23.8% 17.5% 13.7%
纳米图形晶圆缺陷检测设备 24.7% ★ ★ ★
掩模版缺陷检测设备 11.2% ★ ★ ★
无图形晶圆缺陷检测设备 9.7% ★ ★ ★
图形晶圆缺陷检测设备 6.3% ★ ★ ★ ★ ★
电子束缺陷检测设备 5.8% ★ ★ ★
电子束缺陷复查设备 5.0% ★ ★ ★ ★
关键尺寸量测设备（OCD） 10.2% ★ ★ ★
电子束关键尺寸测量设备（CD-SEM） 8.1% ★ ★
掩模版关键尺寸量测设备 1.3% ★
套刻精度量测设备 7.3% ★ ★ ★
晶圆介质薄膜量测设备 3.0% ★ ★
晶圆金属薄膜量测设备 0.5% ★ ★ ★
X光量测设备 2.2% ★
三维形貌量测设备 0.9% ★
其他 3.8% ★
资料来源：各公司官网，安信证券研究中心
营收规模上同样可以看到，KLA一家独大，2022年日历年半导体工艺控制系统收入规模超70亿美元，二线厂商ASML/OntoInnovation/Nova/Lasertec/Camtek半导体量检测系统收入分别为7.1/8.3/4.6/8.7/2.7亿美元，与KLA规模相差较大。而国产半导体量检测设备厂商中科飞测、上海精测营收规模均不到1亿美元，依旧处于早期突破成长阶段。