预期2024年中国洁净室净化装备市场规模超1400亿元

图34：预期2024年中国洁净室净化装备市场规模超1400亿元 1500 1200 900 600 300 0

中国洁净室净化装备市场规模（亿元）

1289 1408 1130 1216 892 939 1005 648 483 529

201520162017201820192020E2021E2022E2023E2024E

数据来源：Frost&Sullivian，美埃科技招股说明书，Wind，广发证券发展研究中心

图35：中国洁净室工程行业下游需求占比情况

中国洁净室工程行业下游需求占比情况

数据来源：中商研究院，广发证券发展研究中心

图36：预期2025年中国空气过滤器市场规模达150亿元

中国空气过滤器市场规模（亿元）

150.00

87.50

94.50

68.96

72.29

76.14

81.21 175 140 105 70 35 0

2014201520162017201820192025E

数据来源：中研网，美埃科技招股说明书，Wind，广发证券发展研究中心

洁净室是半导体制造的核心环节，制程升级拉升洁净度要求。集成电路产业链几乎所有的主要环节，从单晶硅片制造、到IC制造及封装，都需要在洁净室中完成，如

果生产过程中空气洁净程度达不到要求，产品良率会受到很大影响，对于洁净度的要求非常高。制程升级拉升洁净度要求。一般而言，当微粒尺寸达到集成电路节点一半大小时就成为了破坏性微粒，对集成电路的制造产生影响。比如，14纳米工艺

中7纳米的微粒就会影响制造过程。随着集成电路的工艺越来越高，目前3纳米的工艺已经开始研发，集成电路制造过程需要的洁净程度越来越高，对于洁净室工程的

技术提出越来越高的要求。