
加速度计是惯性系统中基于牛顿第二定律、测量物体线加速度的器件。在传感器加速过程中,通过测量质量块所受惯性力计算出加速度值,加上已知初速度即可通过对时间积分得到线速度,并再次积分计算出直线位移。目前加速度计已经广泛应用于导航定位、姿态感知、状态监测、平台稳定等领域。
MEMS加速度计核心部件包括一颗MEMS芯片、一颗ASIC芯片及应力隔离封装。MEMS加速度计产品构造与陀螺仪基本相同,利用敏感结构将线加速度的变化转换为电容的变化量,并最终通过专用集成电路读出电容值的变化,从而测得物体运动的加速度值。加速度计产品一半主要包含加速度计敏感结构和ASIC芯片,其中ASIC芯片由电容/电压变换电路和数字部分组成。