•从产品覆盖度来看,ASML为全球光刻设备行业的绝对龙头,完全垄断全球的第五代超高端光刻机(EUV光刻机)市场,且在中高端市场的ArF与浸没式ArFi设备中分别占据88%及95%的份额,产品覆盖度达100%,市场垄断地位稳固。Nikon和Canon主攻中低端光刻机市场,共占市场份额约35%。国内厂商上海微电子已攻克90nm节点,在后道封装光刻领域占据国内市场份额80%。