制程的迭代,高分辨光刻胶ArF等已成为需求量最大的产品,国内企业正积极研发验证中,有望在24-25年逐步实现产业化应用。
国内企业正在积极布局半导体光刻胶产线建设、高性能产品研发,国产化逐步推进中。在半导体光刻胶领域,上海新阳、晶瑞电材、北京科华等的KrF光刻胶已实现量产,南大光电ArF湿法光刻胶已获部分客户认证、实现小批量销售,上海新阳、晶瑞电材的ArF光刻胶正处客户测试认证阶段,北京科华的EUV光刻胶研发已通过02专项验收,瑞联新材的EUV光刻胶单体已通过客户小试验证,正在做量产验证。