2020年全球前道量测/检测设备市场竞争格局

•半导体量测、检测设备贯穿整个半导体制造过程。前道质量检测设备主要用于晶圆加工环节，是一种物理性、功能性的测试；后道测试设备属于电性能的检测。前道质量检测设备可分为：1）量测类设备：针对被观测晶圆上的电路结构尺寸和材料特性进行定量描述，对应设备分为椭偏仪、四探针、原子力显微镜、CD-SEM、OCD设备等：2）检测类设备：主要针对晶圆表面或电路结构，用于检测是否存在异质情况，产品包括膜厚/OCD量测设备、电子束量测设备、半导体硅片应力测量设备、明场光学缺陷检测设备等。

•据Semi数据，2022年半导体测试设备市场规模达76亿美元。根据SEMI数据，2022年中国占全球半导体设备市场规模26.6%，据此计算，预计2022年国内半导体测试设备市场规模约139亿元人民币。国外厂商在半导体测试设备领域长期居于垄断地位，其中，科磊在大部分前道测试设备市场中占据50%以上市场份额，在部分设备领域市占率达80%。