
1)掩膜版基板是制作微细光掩膜图形的感光空白板。石英掩膜版使用石英玻璃作为基板材料,石英玻璃具有光学透过率高、热膨胀率低、平整度和耐磨度高、使用寿命长的优点,主要用于高精度掩膜版。苏打玻璃作为基板材料,光学性能略逊于石英玻璃,主要用于中低精度掩膜版;
2)遮光层主要分为硬质遮光层和乳胶遮光层,乳胶遮光层主要应用于PCB和触控等场景,而硬质遮光层则由于其铬版的高机械强度和耐用性,以及能形成细微图形的能力,常常通过在基板上镀铬来形成;
3)保护膜Pellicle是指具有耐光性和高透光率的掩膜版防护膜。
资料来源:Toppan官网,HTI
上游核心原材料方面,掩膜版基板行业集中程度较高,供应商数量较少,但供应相对充足。公司的境外供应商集中在日本、韩国和中国台湾。石英基板供应商均为境
外专业的基板供应商如韩国KTG、中国台湾InabataSangyo、韩国SAMSUNGC&T和日本高化学株式会社;主要的苏打基板供应商为湖南普照信息材料有限公司;保护膜Pellicle供应商为韩国FINESEMITECH。