全球高性能MEMS惯性传感器市场竞争格局（2021年）

MEMS是微电子机械系统的缩写，是一种将微电子技术与机械工程相结合的技术，它利用微纳加工技术，将微小的机械结构、传感器、执行器和电子电路集成在一起，形成微型机械系统。MEMS技术的发展使得传感器、执行器等微型设备可以实现集成化、小型化和高性能化，广泛应用于各个领域。MEMS用到的主要材料是硅，加工技术基于集成电路的制造技术，利用硅的各项异性刻蚀，从而形成特定的机械结构。MEMS传感器内部结构可达微米甚至纳米量级，具有体积小、重量轻、功耗低等特点。由于MEMS包含三维微型结构以及可动结构（如悬臂等），MEMS制造工艺更加复杂。MEMS加工工艺包括表面微处理技术、体微加工技术、光刻、电镀、铸塑工艺等，其中，表面微处理技术、体微加工技术相对成熟，加上后道的MEMS模块封装，可实现MEMS微型器件批量量产。