我国电子特气市场快速增长

25% 200

23.43% 216

22.38% 143

20% 150 100 50

10.68%10.53% 103 114 126

13.49%

15% 175

10%

5%

00% 201620172018201920202021

数据来源：亿渡数据、国泰君安证券研究

3.2.特种气体以半导体等下游为主，稀有气体价格有望回暖

特种气体指被应用于特定领域，对纯度、品种、性质有特殊要求（纯度大于等于99.999%）的工业气体，可分为标准气体、高纯气体和电子特

气。根据用途、纯度的不同，其对有害杂质允许的最高含量、产品的包装储运等都有极其灵活及严格的要求，属于高技术、高附加值产品。在国家政策指引和技术水平进步的带动下，国内企业在特种气体领域得到了快速的发展，但相对外资企业而言，国内大多数企业产品品类仍比较单一，而且质量水平存在差距。2021年特种气体下游的电子半导体、化工、医疗环保产业的占比分别达到43%、38%、9%。

表5：特种气体各分类的主要产品及用途

主要产品用途

在物理、化学、生物工程等领域

标准气体高纯碳氢气体配制等

中用于校准测量仪器和测量过程

医疗气体医用氧、血气测定气等诊断、手术、医学研究等

激光气体氨氛激光气、密封束激光气等国防建设、激光加工食品气体二氧化碳、乙烯、氯等饮料气体、蔬菜/水果保鲜电光源气体氲、氮、氛、氤及其混合气等电器、灯具

薄膜、蚀刻、掺杂、气相沉积、

电子特气硅烷(SiH4)、砷烷(ASH3)高纯氨气等

数据来源：亿渡数据、国泰君安证券研究

扩散等半导体工艺

其他