核心设备真空蒸镀机技术壁垒高,目前仍由海外企业主导。国内京东方、维信诺等主要面板厂商6代AMOLED产线大部分使用日本佳能Tokki蒸镀机,少部分使用日本爱发科及其他品牌蒸镀机。其中,Tokki蒸镀机需面板厂商自行采购第三方蒸发源,而爱发科蒸镀机与蒸发源配套出售。蒸发源设备可按照形态分为点源、线源及面源三种,其中线源为当前OLED量产主流设备。