
来源:中微公司,国金证券研究所
二、寡头垄断刻蚀设备市场,泛林半导体
1、全球市场寡头垄断,中国大陆依赖进口
刻蚀设备市场格局高度集中,海外三大厂商寡头垄断,占据总市场份额的90%。根据华经情报研究院,2022年刻蚀龙头LamResearch(LRCX、泛林半导体)市场份额占比46.7%。就我国本土市场而言,据智研咨询统计,现阶段中国刻蚀设备国产化率约在20%左右。海外厂商普遍成立时间较早,在技术经验、客户资源、生态体系等方面均有较深积累,国产厂商均在2000年后成立,且主要客户均为国内晶圆厂,经验资源仍然欠缺。在新的自主可控背景下,国产设备在内资晶圆厂的渗透率正在快速提升。
其他
12%
材料
5%
东京电子
26%
应用
1泛林半导体
47%
来源:华经产业研究院,国金证券研究
中国海关进口数据显示,2017年以来,刻蚀机进口数量在2021年达到巅峰,2022年受到行业周期以及相关出口禁令的影响出现下滑,同时也反映了国产刻蚀设备逐渐满足我国晶圆厂的生产需求,在出厂数量和技术水平上均有所提升。2023年下半年进口数量未见明显增加但单机价格呈现翻倍的增长,我们判断进口设备集中在一些高技术壁垒高价值量的工艺环节,并且可能有一些急单价格较平时会略有上浮。