柔性压力传感器下游应用

资料来源：芯智讯公众号，麦姆斯咨询，天风证券研究所 30

MEMS技术应用在大部分触觉传感器：大部分常用的触觉传感器或多或少地应用了MEMS技术，此类传感器空间分辨率较高，但MEMS触觉设备容易损坏。

柔性MEMS压力传感器：使用柔性材料制作的MEMS压力传感器，通过直接检测材料表面形变来感知力度，相较于传统硅基MEMS压力传感器来说，柔性MEMS传感器由于具有柔性特质，因此对于系统其他部件的结构和内部空间结构要求较低，具有更强的适应性，应用范围较广。

传统MEMS压力传感器：主要通过测量面板与固定位之间的间距变化，导致对MEMS触点产生挤压来测量压力；由于需要检测面板间距变化，需紧密支撑，对结构依赖度高，并且容易受到外部结构变化的影响，这也使得其在部署上对其他部件结构和内部结构要求较高，组装更为复杂，可适应性和应用范围相对较窄。