2020年半导体量测设备竞争格局

在光学检测领域，在1976年，Lasertec就成功研发了全球首台自动LSI光罩检测系统，这一系统为Lasertec之后的快速发展之路奠定了基础。2017年，Lasertec针对最先进制程发布了他们经过6年研发的EUV空白光罩检测系统ABICS E120，这和KLA推出其FlashScan空白光罩检测产品线的时间线相当。