21-23年中国碳化硅外延炉增量市场空间为35-40亿元/年

碳化硅外延设备国产替代加速，以晶盛机电、北方华创、中电科48所为代表。国内外延设备由国外厂商主导，国内主打外延设备以意大利的LPE、德国的爱思强、日本的Nuflare产品为主。国内厂商则以晶盛机电、北方华创、中电科48所为代表。1）晶盛机电：SiC外延设备为公司独立研发设计和生产制造，核心技术均拥有独立的知识产权，目前已实现批量销售。2）北方华创：具有10余年外延设备研发的技术积累，目前4/6吋SiC外延设备已签订单超百台，批量机台已在各大主流外延厂实现稳定量产。3）中电科48所：陆续开发出碳化硅外延设备、高温高能离子注入机、高温激活炉、高温氧化炉，并持续研发第二代、第三代机型，其碳化硅设备已在生产线应用/签订合同百余台套。

公司碳化硅外延设备从6英寸到8英寸，外延质量处于行业领先水平。23年2月，公司发布6英寸双片式碳化硅外延设备。该产品历时两年研发、测试与验证，在外延产能、运营成本等方面已取得国际领先优势，与单片设备相比，新设备单台产能增加70%，单片运营成本降幅可达30%以上，技术性能和市占率均居国内前列。23年6月，公司成功研发出8英寸单片式碳化硅外延生长设备，可实现厚度均匀性1.5%以内、掺杂均匀性4%以内的外延质量。从销售情况来看，根据公司23年半年报，6英寸碳化硅外延设备已实现批量销售且订单量快速增长，8英寸碳化硅外延设备处于验证中。