2021年导电性碳化硅市场份额占比

导电型碳化硅衬底国外CR3市场份额约90%，国内企业奋起直追。美国Wolfspeed和Ⅱ-Ⅵ公司为代表的国际领先企业占据技术和规模主导地位，CR3高达90%，国内企业诸如天岳先进、天科合达、晶盛机电等近年来虽进步较快，但产能差距仍然较大。随着Wolfspeed宣布投资超过65亿美元扩产，国外领先企业纷纷扩产8英寸先进产能，并将集中在2025年前后释放；在这一阶段率先提升良率并实现产能扩张的国内企业有望在下一阶段碳化硅竞争中取得优势。

2017年公司开始碳化硅晶体生长设备和工艺研发，公司坚定电阻法技术路线，在切片环节引入激光切割与多线切割设备并行，并在2020年开始建立长晶实验线和中试线，相继开发6英寸、8英寸碳化硅晶体和衬底。目前公司中试线形成月产5000片6英寸衬底产能。公司长晶和核心加工设备均为自制，设备国产化率达到90%以上，实现了6英寸-8英寸碳化硅晶体生长和加工技术的自主可控。据晶盛机电微信公众号显示，公司于2023年11月4日举行签约仪式，预计新增产能25万片6英寸碳化硅衬底、5万片8英寸碳化硅衬底。