电子特种气体产业链

•电子特气的下游应用主要包括集成电路、显示面板、光伏三大领域。电子特种气体在集成电路制造中，广泛应用于光刻、刻蚀、成膜、清洗、掺杂、沉积等工艺环节，根据工艺分为掺杂用气体、离子注入气、清洗用气、刻蚀用气体和光刻气；在显示面板生产中，主要工艺分为清洗、刻蚀和薄膜沉积；在光伏电池生产中，主要工艺为扩散、薄膜沉积和刻蚀等。