国内电子气体市场规模（亿元）

应用行业 主要用途 主要气体

集成电路 成膜 六氟化钨（WF6）、四氟化硅（SiF4）、六氟乙烷（C2F6）、四氯化钛、乙炔（C2H2）、丙烯（C3H6）、氘气（D2）、乙烯（C2H4）、硅烷（SiH4）、二氯硅烷（H2SiCl2）、氧氩混合气（Ar/O2）、氘代氨（ND3）、氨气（NH3）、氦气（He）、氧化亚氮（N2O）等

光刻刻蚀、清洗 氟气、氦气、氪气、氖气等 三氟化氮（NF3）、六氟乙烷（C2F6）、八氟丙烷（C3F8）、八氟环丁烷（C4F8）、六氟丁二烯 （C4F6）、氟化氢（HF）、氯化氢（HCl）、氧氦（O2/He）、氯气（Cl2）、氟气（F2）、溴化氢（HBr）、六氟化硫（SF6）等

离子注入其他 砷烷（AsH3）、磷烷（PH3）、四氟化锗（GeF4）、四氟化硅（SiF4）、三氟化硼（BF3）、三氯化硼（BCl3）等

六氯乙硅烷（Si2Cl6）、六氯化钨（WCl6）、四氯化钛（TiCl4）、四氯化铪（HfCl4）、四乙氧基硅（Si(OC2H5)4）等

显示面板

半导体照明 成膜、清洗外延 三氟化氮（NF3）、硅烷（SiH4）、氨气（NH3）、氧化亚氮（N2O）、氧氩混合气（Ar/O2）、氯化氢氢氖混合气（HCl/H2/Ne）等

砷烷（AsH3）、磷烷（PH3）、三氯化硼（BF3）、氨气（NH3）等

光伏 沉积、扩散、刻蚀 三氟化氮（NF3）、硅烷（SiH4）、氨气（NH3）、四氟化碳（CF4）等

来源：中船特气、金宏气体招股说明书，国金证券研究所

全球电子特气上半年承压，后续有望恢复增长。根据TECHCET，22年全球电子气体市场规模达68亿美元（参考TECHCET历史数据，电子气体中电子特气的占比约为71%），增长8%，但受半导体周期影响，23年上半年全球电子气体市场收入小幅收缩约2%，国内方面，可录得上半年电子特气板块收入的南大光电/雅克科技/昊华科技/凯美特气收入增速分别为

-8%/-8%/15%/-62%，整体承压，但随着下游的逐渐恢复，TECHCET预计24年全球电子气体将恢复增长，并持续到27年，届时市场规模将达92亿美元，5年CAGR达6.2%，对于国内电子气体市场，SEMI预计将从21年的196亿元增至25年的317亿元，4年CAGR达13%，增速高于全球，因此从长期看，国内特气市场前景依然向好。

100 90 80 70 60 50 40 30 20 10 0

全球电子气体市场规模（亿美元）yoy（%）

2017201820192020202120222023E2027E

10%

8%

6%

4%

2%

0%

-2%

-4% 350

300 250 200 150 100 50 0

中国电子气体市场规模（亿元）yoy（%）

35%

30%

25%

20%

15%

10%

5%

0%

来源：TECHCET，国金证券研究所来源：SEMI，国金证券研究所

电子特气海外高度垄断，国产化有望加速。根据BCG的统计，2021年中国大陆占全球电子特气供给的17%，从产品种类上看，根据中国工业气体工业协会统计，目前用于集成电

路生产的电子特气，我国仅能生产约20%的品种。全球主要气体公司有林德、法液空、空气产品、日本酸素等海外巨头，工业气体方面，根据亿渡数据，22年全球工业气体市场规模约10000亿元，上述四大气体公司占比约52%，而国内我们统计的9家上市公司气体业

务22年合计收入约为110亿元，仅为四大气体公司的2%。电子气体方面，根据中船特气招股说明书的统计，四大气体公司的全球市场份额超过70%，且其整体业务偏向大宗类气体，除此四家外，电子特气板块还有诸如默克、SKMaterials、关东电化、昭和电工等海外公司占据主要市场，根据LinxConsulting和SEMI，21年全球和国内电子特气市场规模约44亿美元和150亿元，而我们统计21年国内华特、金宏、中船、南大、昊华、雅克、凯美7家上市公司的电子特气业务合计收入约为46亿元，仅占全球的16%，国内的30%，进口替代空间广阔。19-22年，上述7家公司特气收入从28亿元增至64亿元，3年复合增速32%，在当下全球半导体产业链趋向区域化和关键设备、技术趋向对国内封闭化的当下，国内电子特气的国产化步伐有望加速。