2020年科磊在各环节的市占率

国内量测设备厂家如上海睿励、上海精测、中科飞测、东方晶源、埃芯半导体、优睿谱等正在积极推进国产替代，其部分产品已进入一线产线验证，推动量测设备国产化发展。这些公司在薄膜测量、尺寸光学检测、电子束、OCD量测、缺陷检测等领域实现了技术突破，并获得了国内一线客户的批量订单或验证通过。南京中安、御微半导体、优睿谱等也在晶圆几何形貌量测、掩模版检测、晶圆检测等领域有所突破。这些公司的产品填补了国内量测设备市场的关键空缺领域，推动了中国半导体产业的发展。

上海睿励是一家专注于半导体量测领域的公司，其主营产品为光学膜厚测量设备和光学缺陷检测设备等。公司自主研发的12英寸光学测量设备TFX3000系列已应用于28纳米芯片生产线并正在进行14纳米工艺验证，同时也能支持64层芯片生产的3D存储芯片。上海睿励与中微公司关系紧密，二者第一大股东都是上海创业投资有限公司，同时在人事上交集往来密切。国家大基金和中微半导体也参与了上海睿励的投资。

上海精测是一家聚焦于半导体前道检测设备领域的公司，产品覆盖领域较为齐全，包括电子束检测及缺陷复查设备、膜厚量测以及光学关键尺寸量测系统等。公司已经取得国内半导体客户的批量重复订单，并且电子显微镜相关设备已完成首台套的交付。公司推出了首款半导体电子束检测设备eViewTM全自动晶圆缺陷复查设备，并实现了国内首台12寸独立式光学线宽测量设备（OCD）与12寸全自动电子束晶圆缺陷复查设备（Review SEM）顺利出机。这些设备采用了自主开发的扫描电子显微镜技术、宽谱全穆勒椭偏测头等技术，具有完全自主知识产权，是真正意义上的高端国产化机台。