
2022年前道量检测设备市场规模超百亿美元。根据SEMI数据,2022年全球半导体设备市场规模约1074亿美元,中国半导体设备市场规模283亿美元。2021年全球半导体量测设备占前中道投资比重约13%,占整个半导体设备市场规模约11%,我们假设2022年仍保持该比例,则测算出2022年全球前道量检测设备市场规模约118亿美元,中国前道量测设备市场规模约31亿美元。
半导体前道量检测设备制造难度大,涉及技术领域广泛,需要长时间投入和技术积淀。国内设备厂商起步晚,基础薄弱,国产设备仍有很大突破空间。前道设备种类繁多,其中膜厚量测技术门槛较低,为国内厂商进入量检测设备的突破口。测试设备具有非标定制化特点,客户需求多样化,是所有半导体检测赛道中壁垒最高的环节。海外龙头企业垄断全球80%量检测设备市场,国内市场国产化率较低,主要由几家垄断全球市场的国外企业占据主导地位。
科磊公司是全球半导体前道测量设备的龙头企业,垄断检测设备市场。自1976年成立以来,其产品线涵盖了质量控制全系列设备,广泛应用于晶片制造、晶圆制造等领域。科磊在检测设备领域具有绝对优势,其营收持续增长,盈利能力稳定。公司通过并购不断拓宽赛道,提高市场占有率。中国大陆是科磊全球最大市场,公司客户包括三星电子、台积电、Intel等IDM/Foundry。
应用材料公司(AMAT)是全球半导体设备领导者,其量测设备领域具有显著优势,尤其在电子束检测方面。根据Gartner数据,AMAT在刻蚀、沉积、CMP、离子注入和工艺控制领域的全球市场份额均相当高。公司晶圆生产线中量测类产品占比10%,主要量测设备包括SEMVision G7缺陷分析设备、UVision 8检测设备、VeritySEM 5i计量设备、Aera4掩膜检测设备和PROvision 3E电子束量测等,这些产品在缺陷检测、掩膜检测和电子束量测方面具有世界领先的技术水平。AMAT的量测设备不仅支持尖端研发和大规模量产,还能满足双重和四重图形化光刻技术的要求,并能够完成当今最先进的芯片设计图形化的需求。