
国内碳化硅衬底产能快速扩张,年均复合增长率接近60%,有望带动上游设备需求。据公司公告,国内碳化硅衬底厂商产能规划已超过500万片/年,2022年产能约为25.8万片/年-40万片/年,预计未来2-5年产能有望达到400万片/年-420万片/年,保守估计新增产能约360万片/年。结合新增产能规模、设备单台产能及销售单价等数据测算,对应碳化硅单晶炉市场空间约为74.40亿元。
公司的碳化硅单晶炉产品主要用于上游衬底制造环节,通过将高纯硅粉及碳粉等原料合成碳化硅微粉,置于碳化硅单晶炉内进行碳化硅单晶生长,再经过切割、研磨、抛洗等加工流程制成碳化硅衬底。
碳化硅长晶炉是碳化硅产业前端的关键制造设备。碳化硅器件中衬底和外延成本占比达到75%,远高于传统硅基器件的11%,是产业链中价值量最高的环节,而碳化硅晶体生长作为整体工艺流程的起点,对碳化硅衬底及外延质量具有重大影响。