
OLED生产流程复杂,涉及三个主要环节:array段、cell段和module段,每一段工艺流程中都涉及多种设备。OLED前段(array段)设备包含背板段工艺的显影、蚀刻设备;蒸镀封装段工艺的蒸镀、封装设备,以及模组段工艺的检查、测试设备。OLED上游设备在产业链占比约35%,尤其是TFT阵列和Cell成盒两个阶段包含众多复杂工艺,关键设备如TFT设备、蒸镀和封装设备几乎被日本、韩国和美国所垄断。其中蒸镀设备是整个面板生产过程中最核心的环节,直接影响到产品的良率和质量。中国设备厂商主要突破和供应模组段工艺中部分贴附和检测设备。