
(4)从产品种类上来看,几大国际巨头各有所长。陶氏不仅市占率高,还能提供全系列的可定制抛光垫产品,最早推出的IC1000抛光垫产品已成为抛光垫行业的测试标准,其20英寸抛光垫占据了85%的市场份额,30英寸的市占率则更高;Entegris(原CMC)主要提供聚氨酯类抛光垫,可定制精确的硬度、孔径、可压缩性和凹槽图案,以满足各种应用的要求;日本Fujibo可以提供聚氨酯及无纺布类抛光垫及背垫;美国TWI公司提供不同硬度抛光垫产品,主要系列包括PuRa和WestPad。
(1)技术壁垒:主要体现在抛光材料的专利技术、技术人员等方面。首先看全球抛光垫与国内抛光垫技术上差距较大,全球抛光垫专利自1997年开始逐年递增,2004年到2009年申请数量处于高位,2010年之后数量有所下降但整体保持平稳态势,中国在高分子抛光垫领域起步较晚,专利数量不多,但近几年有爆发趋势。国内具体企业方面,代表未来趋势的12英寸晶圆用的聚合物抛光垫专利被美国公司占有,国内仅有陶氏化学获得授权生产销售,鼎龙股份是从8英寸无窗口抛光垫入手,12英寸硅片用的抛光垫还处在客户测试阶段。截止到2023年6月30日,公司拥有已获得授权的专利846项,其中拥有外观设计专利71项、实用新型专利479项、发明专利296项,拥有软件著作权与集成电路布图设计104项。