掩膜版产业链

掩膜基板是制作掩膜版的重要基础材料，占原材料采购成本的比重超过80%。掩膜版的主要原材料包括掩膜基板、光学膜、化学试剂以及包装盒等辅助材料。据路维光电招股说明书，2021年公司掩膜基板占据掩膜版原材料采购金额的87%。石英掩膜基板具有高透过率、高平坦度、低膨胀系数等优点，通常应用于对产品图形精度要求较高的行业。目前国内厂商所用的大尺寸掩膜基板主要从国外进口，包括日本INABATA SANGYO（H.K.）LIMITED代理的ULCOAT基板 、S&S TECH CORPORATION自产的基板和SATO-SHOJI代理的尼康基板等。我国掩膜版行业起步较晚，发展历史较短，技术积累和资金投入不足，相关产业配套不足，国产化空间大。