2021-2022 年新增石英玻璃材料及制品产能

图38：2019-2022年石英玻璃制品二产量情况图39：2021-2022年新增石英玻璃材料及制品产能 120 100 80 60 40 20 0 2019202020212022

60%

105 63 62 67

50%

40%

30%

20%

10%

0%

-10%

1,200

1,000 800 600 400 200 0

1,131

676 414 20212022

石英玻璃制品二产量（万件）石英玻璃制品二增长率

石英玻璃制品三（万米）石英玻璃材料二（吨）

资料来源：公司公告，国元证券研究所资料来源：公司公告，国元证券研究所

3.3大规格低羟基电熔石英玻璃技术突破，生产规模进一步扩大

电熔石英是通过电加热将坩埚内的粉末状石英原料进行熔化，随后经过快速冷却的玻璃化过程形成石英玻璃，主要有电阻、电弧和中频感应等加热方式。在熔化过程中石英晶体的结构历经从β-石英到α石英，再到α-方石英的转变，直至加热到约1723℃时开始形成石英熔体。石英粉料的熔化过程通常在高度真空环境中进行，以去除该过程中释放产生的气体和降低石英玻璃中的气泡含量。

电熔法制备工艺包括真空常压工艺、真空加压工艺、真空加压再熔拉管工艺和连熔炉工艺。其中，真空加压再熔拉管工艺是将已熔炼的石英玻璃砣进行二次加热后，再加工成各种石英玻璃棒、石英玻璃管或石英玻璃板等制品。连熔炉工艺是将熔融

态石英玻璃液通过机械设备直接拉石英玻璃制品，自动化程度高，适合大规模生产。这两种工艺极大地提高了前两种传统熔融石英玻璃生产工艺的生产效率和产品质量。

研发项目 进展情况

大规格低羟基电熔石英锭装备的开发 2016年，研发出小规格半导体材料用电熔产品。2017年，研发出大规格半导体材料用电熔产品。2018年，试制出大规格低羟基电熔产品，优化工艺以解决产品气泡问题。2019年，大规格石英锭熔制工艺技术取得突破，完成新熔制装备安装与调试。2020年，大规格石英锭研发成功，产品达到半导体客户使用要求。2021年，完成大规格低羟基电熔石英锭装备的开发，并实现稳定量产。2022年，扩大生产规模。

不透明电熔石英玻璃材料制 备技术及装备研发 2021年，实现小规格样品研制，性能指标达到设计水平。2022年，已送样至客户进行试用评价，具备小规格小批量生产能力。

资料来源：公司公告，国元证券研究所

熔融石英玻璃中的羟基既是杂质缺陷也是结构缺陷，不仅降低石英玻璃的化学稳定性，而且影响红外光谱透过性，也会改变熔融石英玻璃的熔制性能，因此，脱羟工艺的水平决定了熔融石英玻璃的品质。采用电熔法制备的熔融石英玻璃中，羟基主

要来源于高纯石英砂原料中的流体包裹体，该材料中的羟基量少且处于亚稳态，加热较容易去除。