掩模版产业链国产化进程

为降低原材料采购成本和控制终端产品质量，国际领先的掩膜版企业陆续向上游原材料行业延伸，掩膜版龙头企业HOYA已经具备了研磨、抛光、镀铬、涂胶等掩膜版基板全产业链的生产能力。

菲利华已实现国产化

日韩企业垄断，

菲利华布局攻克

日韩企业垄断，

清溢光电布局攻克

合成石英

锭

切

割

热加工成

型

冷加

工

贴

膜

检查修

补

脱膜清

洗

蚀

刻

显

影

光

刻

涂

胶

国内掩模版龙头企业清溢光电和路维光电均已实现国产化

镀铬

抛光

研磨

资料来源：路维光电、清溢光电招股说明书，《光掩膜石英玻璃基板的制造工艺概述》，国元证券研究所

光掩膜基板精加工涉及的工艺有精密磨抛和清洗，其中要求最高、难度最大的是精密磨抛，具有一定技术壁垒，决定了加工后的产品表面质量和型面精度。

精密磨抛主要分为研磨和抛光，两者的工作原理相似，都是使用磨粒对材料进行磨除。其中研磨的磨粒粒径更大，主要是为了去除加工余量，并对工件表面进行修整，研磨效率影响着抛光的表面质量和时间，研磨效果直接关系着石英玻璃基板的表面平整度和粗糙度。抛光的目的是提高石英片的表面质量，如粗糙度、平整度等，同时去除研磨过程中产生的表面残余应力，抛光的质量直接决定着石英玻璃基板的加工精度和表面质量，是精加工工艺中最关键的一步。

目前，石英玻璃基板的抛光工艺主要采用化学机械抛光（CMP）的方法，即采用化学和机械结合的方式，使石英玻璃基板在游离磨粒、研磨盘作用下获得较高的表面质量。