2018-2027 年全球 MEMS 市场规模

陀螺仪用于测量物体的角速度和旋转角度。MEMS陀螺仪由一个MEMS芯片和一个ASIC芯片集成到一起，MEMS芯片用于感知物体运动变化同时输出电容信号，ASIC芯片能够将电容信号转化成电信号。其工作原理是利用科里奥利力。根据博世给出的技术原理图可以看出MEMS陀螺仪中有一块可以横向或径向位移的梳状结构，可以不停地来回做径向运动或者震荡。由于MEMS陀螺仪在旋转的过程中，梳状结构会受到科里奥利力的影响从而发生径向运动，旋转的速度越快，径向运动位移也就越大。因此在径向安装电容板，通过电容变化来测量物体的旋转速度，再通过对旋转速度积分即可得到旋转的角度。

MEMS陀螺仪的应用场景：在消费电子领域独立的MEMS陀螺仪主要用于拍照防抖、屏幕锁屏、定位导航、体感游戏等功能；在汽车电子领域MEMS陀螺仪主要用于对车辆位置、行车轨迹进行监测，也可以对车辆姿态进行管理。在高可靠领域，陀螺仪可用于微小卫星姿态控制、航姿备份系统等领域。