ALD技术下游应用行业情况

ALD技术广泛适用于不同场景下的薄膜沉积，在光伏、半导体、柔性电子等新型显示、MEMS、催化及光学器件等诸多高精尖领域均拥有良好的产业化前景。公司在成功实现ALD技术应用于光伏领域后，先后开发出对技术水平和工艺要求更高的半导体和柔性电子薄膜沉积设备，并逐步拓展应用领域。

据公司官网，公司全球首创将ALD技术规模化应用于光伏领域，已成为提供高效电池技术与设备的领军企业。公司光伏ALD设备具备优良的产品性能，在保障光电转换效率的同时，可有效帮助电池片厂商大幅降低设备投资额与生产成本，在

目前国内主要太阳能电池片为PERC电池，其中 Al2O3 镀膜设备是实现PERC电池量产的关键设备，所镀膜层用于实现钝化效果，以达到更高的光电转换效率。2016年之前，PERC电池背面钝化设备基本采用PECVD，当时的ALD技术在国外主要应用于半导体领域，大多属于单片式反应器类型，这种反应器虽然镀膜精度高，但产能较低。为了克服上述限制，2017年起国内ALD设备制造商陆续推出创新解决方案。

目前公司量产设备镀膜速率已经突破10,000片/小时，产能达480MW/年，打破制约ALD技术应用于光伏领域的产能限制，成为行业主流镀膜方案之一。