2018 年-2022 年全球半导体专用工艺废气处理

工艺设备内产生的废气并进行分解；另一端与中央治理系统相连，将分解后的尾排气体排至中央处理装置并进行后续处理。

根据QY Research数据，2018年-2022年我国半导体专用废气处理设备市场规模从1.16亿美元，增长到2.26亿美元，5年CAGR为18.13%。考虑到L/S设备的需求量、价格以及后续维护保养市场，未来L/S设备市场市值规模将进一步有提升。

L/S设备厂商主要为国外厂家，国产化率有待进一步提高。目前，国外L/S厂商有DAS、EDWARDS、KANKEN，国内主要厂商有盛剑环境、中微惠创、京仪装备、沃飞科技和上海兄弟等。根据QY Research数据，以收入口径计算，半导体L/S设备国内市场集中度较高，2018年至2022年国内市占率前六厂商合计市占率水平维持在90%左右，其中京仪装备为前六家中唯一一家国内厂商。L/S设备作为泛半导体制程附属设备，连接主设备进行本地废气处理，处理工艺以及效果与主设备的运行参数密不可分，因此L/S设备的生产与研发需要与下游厂商紧密合作，L/S设备的生产研发要求形成了较高的进入壁垒。