全球刻蚀设备市场以海外厂商为主,国产替代空间广阔。据中微公司2022年年报引用的Gartner统计数据,全球干法刻蚀设备市场规模2022年为230亿美元,其中ICP低能等离子体刻蚀和CCP高能等离子体刻蚀为最重要的两大类干法刻蚀设备,市场份额占比分别为47.9%和47.5%。目前全球前道刻蚀设备市场仍然以海外厂商泛林、应用材料、东京电子等厂商为主,国内厂商的整体营收与海外头部厂商还有较大差距,刻蚀设备国产替代空间广阔。