2014-2025E中国空气过滤器市场规模

图15：2014-2025E中国空气过滤器市场规模

资料来源：公司招股说明书，Frost&Sullivian，国海证券研究所资料来源：公司招股说明书，Frost&Sullivian，国海证券研究所

洁净室是半导体制造业的重要环节，直接决定产品良率。IC产业链的主要环节基本都需要在洁净室中完成，且对洁净度的要求较高。通产半导体洁净室所管控的污染物直径相当于半线宽，即5nm制程要求管控2.5nm污染物，因此先进制程持续发展将对洁净度提出更高要求。据IBS统计，随着芯片制程进步，设备投资成本将呈现大幅上升趋势，以5nm工艺为例，其投资

成本高达数百亿美元，是14nm的两倍以上，28nm的四倍左右。