
半导体设备位于产业链的上游,是整个半导体产业的支柱。半导体设备泛指用于生产各类半导体产品所需的生产设备,是半导体行业产业链的关键支撑环节,芯片设计、晶圆制造和封装测试等均需在相关设备的基础上开展。半导体设备种类众多、价值量高、技术复杂,常见的半导体设备如光刻设备、刻蚀设备、薄膜沉积设备、质量控制设备、清洗设备、化学研磨CMP设备、离子注入设备等,应用在半导体制造的核心工艺中,对下游客户的产品质量和生产效率的影响较大。
半导体设备可分为前道工艺设备(晶圆制造)和后道工艺设备(封装测试)两大类。根据SEMI的数据,在全球半导体设备市场中,前道晶圆制造主要对应光刻设备(24%)、刻蚀设备(10%)、清洗设备(6%)、薄膜沉积设备(18%)、离子注入设备(2.5%)和过程控制及检测设备(10%)等,总计占比为80%左右;在后道封装测试设备领域,主要包括封装设备(10%)、CP&FT测试设备(8%)等,占整个半导体设备市场空间的20%左右。