2021年全球各大电子特气产品市占率

从国内各种电子特气的具体情况来看，含氟特气（特别是三氟化氮、四氟化碳、六氟化钨）具有用量规模大、国产化率相对较高的特点，三氟化氮、六氟化钨等含氟特气是中船重工718所首批研发的特气产品，较早实现了国产技术突破和批量生产销售。南大光电于2019年收购飞源气体进军含氟特气领域，根据我们对国内氟类特气供应商的全面梳理，公司现有三氟化氮和六氟化硫产能规模位居国内前三，另有一定规模的六氟化钨、六氟丁二烯等含氟特气投产在即。

三氟化氮具有优异的蚀刻速率和选择性，且在被蚀刻物表面不留任何残留物，可作为刻蚀剂用于芯片和显示面板加工，也是良好的CVD装置清洗剂。三氟化氮作为目前需求量最大的电子特气，出于国防产品研发需要，七一八所较早就开始从事其研发工作，属于国产化较为成功的特气产品，目前已基本实现了在各应用领域的国产替代。

我国集成电路、显示面板等产业高速发展，三氟化氮需求旺盛，2017-2021年需求复合增长率达23.60%，彼时国内供应尚无法满足需求；2022-2023年随着国内企业中船特气（现有年产能9250吨，规划到2023年增加3250吨/年）、南大光电