全球六氟化钨供需量预测（吨）

六氟化钨供需结构和三氟化氮类似，同时也是中船重工718所首批大力研发的特气产品，因此国产化率也较高，基本在各领域实现了国产替代。从国内市场现状来看，2022年由于中船特气、昊华科技等公司较大规模产能的释放，国内六氟化钨呈现供过于求的局面；长期来看，国内集成电路产业正处高成长通道中，单张芯片层数用量增加，叠加下游产能扩张，预计到2025年国内六氟化钨需求量将达4500吨，20-25年复合增速达约42%，超过供应增速，扭转小幅过剩格局。

从全球市场来看，根据TECHCET数据，2021年全球六氟化钨需求量约为5675吨，供给量约6497吨（主要来自SKMaterials1800吨/年、关东电化1400吨/年、厚成化工720吨/年等），总体供给仍大于需求；预计到2025年需求量将超8900吨，较2020年增长近1倍，20-25年复合增速达约14%，或将扭转当前的供需格局。

六氟丁二烯主要用作3D NAND的蚀刻气体，具有高选择性、高蚀刻精度、高蚀刻效率、低环境污染等优点，发展潜力大，但由于制备过程多且复杂，具有一定技术壁垒，单价较高。根据日本富士经济统计数据，2021年全球六氟丁二烯市场规模