2015-2021年中国三氟化氮供需量（万吨）

（现有3800吨/年，规划2023-26年新增7200吨/年）、昊华科技（现有5000吨/年，规划新增6000吨/年）较大规模三氟化氮的投产放量，叠加海外SK Materials、晓星、关东电化等企业产能释放，三氟化氮市场短期或呈供过于求局面。

未来，随着集成电路制造厂产能逐步扩张，制程技术节点微缩、芯片尺寸缩小、3DNAND多层技术发展，集成电路对精度的要求提升，刻蚀、沉积、清洗等次数增加，国内外三氟化氮需求增速有望超过供给增速，同时国产替代进程加速推进，或将为国内三氟化氮市场需求带来更大的增长空间，假设2023-2026国内三氟化氮需求保持25%左右的年复合增速，结合各企业产能规划测算，2023-2024年国内三氟化氮供需缺口有望进一步收窄，到2025年扭转为供不应求的局面。

六氟化钨是钨的氟化物中唯一稳定并被工业化生产的品种，主要用途是在电子工业中作为金属钨CVD工艺的原材料，用它制成的钨和二硅化钨可用作大规模集成电路（LSI）中的配线材料、阻挡层和栅极填充材料等。