
图表37:2015-2022年荷兰光刻机进口情况及阿斯麦中国大陆销售额
原本荷兰在6月份宣布了最新禁令将于9月起实施,不少企业在禁令正式实施之前进口光刻机以满足产能需求。
图表38:2023年1-7月荷兰光刻机进口情况 35 30
22.6
2521.1
32.0
28.631
25.9
31.1
25.5 3001030
8.74
226.26 16 15
2.59
3.84 13 15
91.90
1.07 11
1.47 250825 20 2006 20
15.7
155.9
8.2 11
15.4 109 168 15 146150410 10025
106.68.08.887 67 5453533 0 5000 0 20152016201720182019202020212022
数据统计口径:中国海关编码为“84862031”和“84862039”,商品名称为“制半导体器件或集成电路用的分步重复光刻机”和“其他投影绘制电路图的制半导体件或IC的装置”,根据海关总署进出口税则商品及品目注释,该这两类为制造半导体器件或集成电路用的机器及装置中的光刻设备。
光刻设备,用以将电路图案转印到涂有光刻胶的半导体晶圆表面,例如:
1.在晶圆上涂布光刻胶用的设备,包括将液态光刻胶均匀地涂布在晶圆表面上的旋转涂胶机。
2.对已涂布光刻胶的带电路图案(或部分图案)的晶圆进行曝光的设备:
(1)使用掩膜版或光掩膜,并将光刻胶曝光(通常用紫外线),有时用X射线:①接触式光刻机,②接近式光刻机,③扫描光刻机,④分步重复光刻机。