集成电路产业链主要环节以及洁净室在其中的应用

IC半导体为高端洁净室最主要应用领域，集成电路制造资本开支中洁净室工程占比5-10%。洁净室工程是集成电路制造环节中重要的一环，半导体集成电路产业链中几乎所有的主要环节，从单晶硅片制造到IC制造及封装，几乎所有重要的步骤都需要在洁净室中完成，且随着技术进步，集成电路对洁净度的要求也越来越高，直接带动了洁净室工程的发展需求。根据屹唐股份招股说明书，洁净室工程资本开支在集成电路制造领域资本开支中占比约为10-20%，其中洁净室系统、机电系统分别占比5-10%。