
电子特气中市场规模较大的主要是几类清洗蚀刻、沉积成膜气体。据中船特气招股书和Linx Consulting,从2021年全球应用的电子特气看,市场规模最大气体的为三氟化氮(清洗刻蚀用),占比为20%,其他分别有六氟化钨(8%,沉积成膜)、六氟丁二烯(7%,刻蚀)、氨气(4%,沉积成膜)、硅烷(4%,沉积成膜)等。从应用工艺环节看,以清洗刻蚀和成膜为主,部分承担离子注入和光刻的重要功能。
特气行业增长的第一重驱动在于全球半导体产业链的快速发展以及技术迭代。近年来,PC/计算机和通信终端等下游需求的牵引带来全球半导体行业的快速扩容。据CEIC对SIA数据的统计,2022年全球半导体销售额约5741亿美元,同比2021年进一步增长3.3%。其中,2022年亚太、美洲、欧洲、日本半导体销售额分别为3309亿美元、1411亿美元、539亿美元、482亿美元,亚太区的主导地位明显。2001-2022年,各地区半导体销售额CAGR分别为全球7.0%、亚太10.6%、美洲6.8%、欧洲2.8%、日本1.8%,亚太区半导体产业发展速度明显较快。