
洁净室分为工业洁净与生物洁净两类,半导体为重点应用领域。按照控制粒子类型的不同,可将洁净室分为工业洁净室和生物洁净室两类。其中,工业洁净室主要控制空气中的无生命微粒,应用领域包含半导体及泛半导体、新型显示、航空航天及其他高端制造业。生物洁净室主要控制空气中的生物粒子,其发展受到医疗环境控制、生物制药、食品加工、动物饲育等领域的洁净需求提升的驱动。目前,半导体领域占据了洁净室行业54%的市场,为重点应用领域;其次为医药及食品(占比16%)和医疗(占比8%)。
洁净室是半导体制造中的重要一环,直接影响产品良率。集成电路产业链几乎所有的主要环节,从单晶硅片制造、到IC制造及封装,都需要在洁净室中完成,如果生产过程中空气洁净程度达不到要求,产品良率会受到很大影响,对于洁净度的要求非常高。