
受益于工业物联网、智能制造、人工智能等战略的实施,加之智慧城市建设加速推动、智能制造发展,MEMS市场具有较大的发展机遇。
MEMS压力传感器是一种薄膜元件,受到压力时变形。可以利用应变仪(压阻型感测)来测量这种形变,也可以通过电容感测两个面之间距离的变化来加以测量。这两种方法都很流行,轮胎压力监测系统使用比较结实的压阻方法。
随着MEMS压力传感器的出现和普及,智能手机中用压力传感器也越来越多,主要用来测量大气压力。测量大气压的目的,是为了通过不同高度的气压,来计算海拔高度,同GPS定位信号配合,实现更为精确的三维定位,譬如爬楼高度、爬楼梯级数等都可以检测。
MEMS压力传感器的原理也非常简单,核心结构就是一层薄膜元件,受到压力时变形,形变会导致材料的电性能(电阻、电容)改变。因此可以利用压阻型应变仪来测量这种形变,进而计算受到的压力。
根据ZAKER乐居财经网的统计数据,2021年压力传感器是MEMS传感器中销售额最高的细分市场,也是销售量第二大的细分市场,仅次于硅麦克风。MEMS压力传感器的市场规模从2018年的14.72亿颗、17.63亿美元增加至2021年的16.05亿颗、20.04亿美元,预计将于2027年增长至25.35亿颗、26.24亿美元。