国内特种气体市场规模（亿元）

国内特种气体市场规模近500亿元，其中电子特气占据较大份额。特种气体作为集成电路、液晶面板、LED、光伏等产业发展必不可少的关键材料，受益于高新技术发展快速增长。根据亿渡数据，预计23~26年，国内特种气体市场规模将从496亿元增长至808亿元。从特种气体的细分市场来看，电子特气份额占比较大。

前驱体在集成电路薄膜沉积工艺中起到关键作用，预计29年国内半导体前驱体市场将达到22亿美元。前驱体是集成电路制造中ALD和CVD薄膜沉积工艺的核心材料。未来，随着集成电路先进制程占比上升，在薄膜沉积工艺中起到关键作用的前驱体材料需求将进一步增长。根据QY Research，预计22~29年，国内前驱体市场规模将从8.7亿美元增长至22亿美元，CAGR约14.17%。