2020 年全球电子气体市场竞争格局

电子气体市场巨大且护城河深，格局优异。特气行业进入壁垒高，研发周期长，海外头部企业市场份额长期居于高位，国产替代空间巨大。全球电子气体主要生产企业林德等前十大企业，共占据全球电子气体90%以上市场份额。其中，林德、液化空气、大阳日酸和空气化工4大国际巨头市场份额超过70%。具体到电子特种气体领域，由于电子特气纯度要求极高，技术壁垒难以逾越，且单一种类气体市场规模小，多品种覆盖研发时间长，加之核心设备要求高、客户认证流程长，供应商体系高度稳定，导致电子特气市场壁垒更高，我国市场同样由海外头部企业占据主要份额，根据集成电路材料产业技术创新联盟（ICMtia），2019-2021年我国电子气体企业集成电路领域的销售收入合计仅分别有17.20/19.80/26.50亿元。我国企业相较于国际巨头企业体量仍较为羸弱。

晶圆生产用到丰富品种的特气。在电子气体中，含氟电子气体是重要的组成类别，占比约30%，主要用作清洗剂和蚀刻剂，含氟气体由于性能稳定，被广泛应用于电力设备制造领域，及平板显示、光伏新能源和电子信息等产业的清洗、蚀刻、成膜、配线、离子注入等领域。除用量最大的三氟化氮、六氟化钨外，根据产品所含元素不同，可将电子特气分为无机类、混合气、碳氟类等不同类型。