2021 年各类 IC 光刻胶市场竞争格局

从产品结构角度看，ArF与KrF占比最多，EUV增长最快。根据TECHCET数据显示，2020年ArF和ArFi（ArF浸没式光刻胶）市场规模共计9亿美元，市场份额为48%，KrF和g线/i线光刻胶分别占据34%和16%的市场份额。预计至2025年，ArF光刻胶仍能占据45%的市场份额。此外，随着先进制程渗透率提升以及工序步骤的增加，EUV光刻胶的需求持续增加，市场占比预计将从2020年的1%提升至2025年的10%。

全球IC光刻胶的市场集中度较高，尤其是在高端的KrF、ArF、EUV光刻胶市场，日美企业垄断格局明显。2021年，IC光刻胶CR5占据全球87%的市场份额，前五大厂商分别为日本合成橡胶（JSR）、东京应化（TOK）、美国杜邦、信越化学、富士电子，市场占有率分别为28%、21%、15%、13%、10%。