2022 年上海睿励、上海精测和中科飞测合计市场份额不足 3%

本土半导体设备企业正在量/检测领域积极布局，已经基本覆盖主流量/检测设备类型。1）中科飞测：涵盖无（有）图形晶圆缺陷检测、三维形貌量测、薄膜膜厚量备（介质）和套刻精度量测等系列设备，并积极研发纳米图形晶圆缺陷检测、金属薄膜量测等设备。2）上海精测：覆盖薄膜测量、光学关键尺寸量测、电子束缺陷检测等设备类别。

3）睿励科学：包括光学薄膜测量和缺陷检测设备两大类，可对多类半导体薄膜实现精准的厚度、折射率、成分比率和应力测量，以及图形&无图形外观缺陷检测。4）东方晶源：拳头产品包括电子束缺陷检测EBI、关键尺寸量测设备CD-SEM。5）赛腾股份：收购日本Optima，对硅片、晶圆的边缘、正背面外观缺陷检测具备全球竞争力。