2021 年全球电子束量检测设备市场竞争格局

产品角度看，收入规模增长主要由半导体工艺控制设备驱动。公司营收主要来自于半导体工艺控制系统及服务收入两大部分，2022年KLA半导体工艺控制设备收入占比68%，同比增长36%；服务收入占比20%，同比增长15%；其余特色半导体工艺设备、PCB/面板/封装缺陷检测设备收入分别占比5%。

下游角度看，逻辑需求大，存储端需求自22Q3开始显著疲软。2022年全年，KLA公司逻辑需求占比65%，同比增长24%；而存储需求占比35%，同比增长37%，但受下游需求疲软及

存储价格周期影响，存储端需求从2022Q3开始加速下滑，2023Q1存储端收入同比下滑60%，环比下滑50%。

地区需求角度看，中国大陆需求占比28%。KLA公司2022年营收结构中中国大陆/中国台湾

/韩国/北美/日本/欧洲占比分别为28%/25%/18%/10%/8%/7%，中国大陆是KLA最大需求市场。

CY22Q1 CY22Q2 CY22Q3 CY22Q4 CY2022 YoY 占比 CY23Q1 QoQ YoY

营收合计 22.9 24.9 27.2 29.8 104.8 28% 100% 24.3 -18% 6%

半导体工艺控制 15.3 16.0 18.4 21.2 70.8 36% 68% 16.4 -23% 7%

特色半导体工艺 1.1 1.1 1.1 1.5 4.8 34% 5% 1.2 -21% 8%

PCB、面板显示和封装缺陷检测 1.2 1.8 1.3 1.1 5.5 -7% 5% 0.7 -37% -44%

服务 4.9 5.1 5.3 5.2 20.5 15% 20% 5.3 2% 8%

其他 0.4 0.9 1.1 0.9 3.3 53% 3% 0.8 -11% 93%

按应用分： 逻辑 14.4 13.7 17.2 23.0 68.2 24% 65% 20.9 -9% 45%

存储 8.5 11.2 10.1 6.9 36.6 37% 35% 3.4 -50% -60%

按地区分： 中国台湾 5.3 6.2 7.4 7.8 26.6 3% 25% 4.6 -41% -13%

韩国 4.8 4.0 4.1 6.0 18.8 18% 18% 4.3 -27% -10%

日本 1.4 2.2 2.2 2.7 8.5 12% 8% 2.1 -23% 50%

亚洲其他 0.7 0.7 1.1 1.2 3.7 35% 4% 0.7 -42% 0%

中国大陆 7.1 7.2 8.4 6.9 29.6 20% 28% 6.0 -13% -16%

欧洲 1.6 2.0 1.6 1.8 7.0 39% 7% 2.1 15% 29%

北美 2.3 2.5 2.5 3.6 10.8 12% 10% 3.2 -11% 40%

表19：CY2022Q1-2023Q1单季度按产品/应用/地区分营收结构

注：

1、半导体工艺控制：IC制造中的缺陷检测和测量、衬底缺陷检测和测量、掩模板缺陷检测和测量、材料质量分析、过程工艺管理和晶圆处理诊断、软件产品、翻新和重制造产品

2、特色半导体工艺控制：MEMS、RF芯片和应用于汽车/工业的功率半导体客户在制造中用到的真空沉积和刻蚀工艺工具。

资料来源：KLA官网，安信证券研究中心

4.2.AMAT：布局明场/掩模版/电子束，电子束应用领域全球市占近50%

应用材料在电子束量检测技术方面占据主导地位，2021年其电子束系列产品实现营收10.8亿美元，同比增长95%，在全球半导体电子束量检测技术领域市占率近50%。

39%

33%

28%

电子束缺陷检测

电子束缺陷复检

CD-SEM

资料来源：AMAT，安信证券研究中心资料来源：AMAT，安信证券研究中心

应用材料覆盖电子束缺陷检测、电子束缺陷复检、电子束关键尺寸测量三大品类，拥有SEMVision、PrimeVision、PROVision、VerifySEM四大系列产品。